| |
Жихарев, А. В.
Устройство точного позиционирования зонда для сканирующих зондовых микроскопов [Текст] / А. В. Жихарев, С. Г. Быстров, О. В. Карбань
// Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 3. – 127-130.
Описано устройство позиционирования зонда на площадке 1 на 1 мм с точностью 1 мкм для сканирующих зондовых микроскопов компании NT-MDT |
