Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Ковалев, В. И.
Компактный многоканальный спектроэллипсометр для EX SITU и IN SITU измерений
[Текст] / В. И. Ковалев, А. И. Руковишников
// Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 2. – 164-165.
УДК 681.785.35
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/П/поляризація, поляризация
Ключові слова/Э/экспрессные измерения
Ключові слова/С/спектроэллипсометр
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'