| |
Процессы очистки кремниевых пластин в модифицированных аммиачно- и соляно-перекисных растворах [Текст] / И. В. Кирюшина, Л. З. Красавина, А. Д. Просий [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 1. – 53-59.
Проведено исследование процессов жидкостной химической подготовки пластин в растворах с традиционной рецептурой компонентов и модифицированной рецептурой компонентов в технологическом маршруте изготовления СБИС |
