| |
Абрамов, Г. В.
Исследование точности ориентации полупроводникровых пластин по базовому срезу в пневмовихревой центрифуге [Текст] / Г. В. Абрамов, Л. И. Назина, Г. В. Попов
// Изв.ВУЗов.Машиностроение. – 2002. – № 9. – 43-48.
Приводятся результаты исследований влияния геометрических и физических параметров устройств для пневмовихревого центрифугирования полупроводниковых пластин на точность ориентации по базовому срезу |
