| |
Абрамов, Г. В.
Выбор конструктивных и функциональных параметров пневмовихревой центрифуги для механической обработки полупроводниковых пластин [Текст] / Г. В. Абрамов, О. М. Гребенкин, Г. В. Попов
// Изв.ВУЗов.Машиностроение. – 2002. – № 8. – 67-77.
Приводятся результаты исследований по созданию устройств для механической обработки плоскостей полупроводниковых пластин |
