| |
Манжа, Н. М.
Влияние толщины осаждаемых слоев на микрорельеф поверхности при формировании щелевой изоляции [Текст] / Н. М. Манжа
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 6. – 12-16.
Представлены результаты экспериментальных исследований процесса заполнения щелей слоями, полученными при пониженном давлении |
