| |
Щагин, А. В.
Многофункциональная технологическая платформа для микроэлектроники [Текст] / А. В. Щагин, Г. Х. Сатаров
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 5. – 45-49.
Описывается многофункциональная кластерная технологическая установка для производства СБИС |
