| |
Возможности оценки качества систем металлизации интегральных микросхем на основе алюминиевых сплавов различными методами [Текст] / С. И. Бабкин, В. Ю. Киреев, Т. В. Козырева [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 5. – 38-44.
Исследованы возможности спектрофотометрического метода измерения отражательной способности поверхности, профилометрического метода измерения рельефа поверхности и метода измерения рассеяния лазерного излучения поверхностью для оценки качества (морфологии строения зерен) пленочных структур алюминия |
