| |
Еременко, А. Н.
Использование двухмерного приборно-технологического моделирования для разработки и оптимизации технологии изготовления КМОП [Текст] / А. Н. Еременко, Н. А. Зайцев, И. М. Романов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 4. – 44-48.
Показано применение двухмерного приборно-технологического моделирования для разработки и оптимизации КМОП-технологии с проектными нормами 0,5 мкм |
