|
Остаточные напряжения и структура покрытий нитридов титана и хрома, полученных методом ионно-плазменного осаждения [Текст] / Л. И. Гладких, С. В. Малыхин, А. Т. Пугачев [и др.] // Металлофизика и новейшие технологии. – 2003. – 25, № 6. – С. 763-776.
Рентгенографически исследованы фазовый состав, тектура и напряженное состояние в покрытиях на основе систем Ti-N, Cr-N, Ti-Cr-N, полученных методом плазменного осаждения. |