| |
Айвазян, Г. Е.
Нарушение точности совмещения топологических рисунков при фотолитографии [Текст] / Г. Е. Айвазян, А. М. Скворцов
// Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2003. – 46, № 1. – 71-72.
Рассматривается проблема нарушения точности совмещения топологических рисунков |
