| |
Асеев, А. Л.
Физика и технология гетероструктур III-V: современное состояние и тенденции развития [Текст] / А. Л. Асеев, О. П. Пчеляков, А. И. Торопов
// Изв.ВУЗов.Физика. – 2003. – 46, № 6. – 21-26.
Прогресс в полупроводниковой электронике и переход от микро- к наноэлектронике является результатом уменьшения размеров комплементарных металл-окисел-полупроводник-транзисторов (КМОП), разработки новых одноэлектронных приборов, оптических и квантовых логических элементов |
