| |
Троян, П. Е.
Роль углерода в процессе электрической формовки МДМ-систем [Текст] / П. Е. Троян, А. А. Жигальский, Ю. В. Сахаров
// Изв.ВУЗов.Физика. – 2003. – 46, № 2. – 36-38.
Исследовались тонкопленочные системы Мо-SіО2+С-Al. Обнаружена значительная зависимость электрических свойств этих систем от процентного содержания углерода в составной мишени Si+C на этапе получения диэлектрика |
