Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Имплантация ионов в тонких пленках при лазерном осаждении в импульсных электрических полях
[Текст] / В. Н. Неволин, В. Ю. Фоминский, В. Е. Кошманов [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 4. – 15-23.
УДК 621.382:621.373.8.002.3
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/И/имплонтация ионов
Ключові слова/Т/технология микроэлектроники
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'