| |
Микронеоднородности поверхности ионнолегированного слоя кремния [Текст] / И. М. Викулин, Е. Ф. Храмов, Г. В. Прохоров, А. К. Гнап
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2003. – № 1. – 55-58.
Исследована поверхность ионнолегированного слоя кремния |
