|
Влияние концентрации мышьяка на характеристики эшелона ступеней роста при газофазовой эпитаксии GaAs [Текст] / И. В. Ивонин, Г. А. Лаврентьева, Г. А. Александрова, Л. Л. Девятьярова // Изв.ВУЗов.Физика. – 2002. – 45, № 10. – 67-70.
Показано,что среднее расстояние между ступенями в эшелоне зависит от концентрации мышьяка, увеличиваясь с ее ростом до некоторого постоянного значения |