| |
Галкин, Н. Г.
Формирование и свойства тонких пленок сплавов CrFeSi на Si(111) [Текст] / Н. Г. Галкин, А. В. Конченко, А. М. Маслов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 2. – 37-43.
Предложена технология трехкомпонентных силицидных пленок с предварительным формированием затравочных слоев, основанная на осаждении Сr и Fe с различными скоростями напыления на горячую Si(111)-подложку |
