| |
Антоненко, К. И.
Компенсация неоднородностей температурного поля подложки в быстрых термических процессах [Текст] / К. И. Антоненко, А. Ю. Райнов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 1. – 28-34.
Предложен метод, позволяющий улучшить однородность температуры подложки в гетерогенных процессах реакционный конденсации при быстром термическом воздействии |
