|
Александров, О. В. Моделирование перераспределения бора при совместной диффузии с фосфором в кремний [Текст] / О. В. Александров // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 1. – 23-34.
Моделируется перераспределение базовой примеси бора при совместной диффузии с эмиттерной примесью фосфора в кремний |