| |
Микроэлектронные индуктивные балансные сенсоры с катушками квадратной и треугольной формы [Текст] / О. Н. Негоденко, С. Г. Кошелев, В. И. Семенцов, Ю. П. Мардамшин
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 1. – 47-48.
Приведены конструкции микроэлектронных сенсоров, которые могут использоваться в датчиках силы, давления, массы |
