| |
Акуленок, М. В.
Принципы построения электронного лабораторного практикума по курсу "Физико-химические основы технологии микроэлектроники" [Текст] / М. В. Акуленок, П. А. Рыжов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 6. – 80-85.
Рассмотрены основные принципы построения электронного технологического практикума по курсу "Физико-химические основы технологии микроэлектроники", включающего лабораторные работы для изучения базовых технологических процессов. |
