| |
Математическая модель кинетики автоэпитаксиального роста кремния с использованием дихлорсилана [Текст] / Е. С. Горнев, Н. А. Зайцева, И. В. Матюшкин [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 6. – 25-32.
Рассмотрена математическая модель автоэпитаксии кремния с использованием дихлорсилана. |
