|
Рыгалин, Б. Н. Взаимодействие Mg - O при диффузии магния в монокристаллах кремния [Текст] / Б. Н. Рыгалин, Л. Н. Лысенко // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 6. – 14-19.
При диффузионном введении примеси магния в кремний, содержащий кислород, обнаружено уменьшение интенсивности полосы ИК-поглощения 1106 см в минус первой степени, обусловленное взаимодействие атомов магния и кислорода в кристаллической решетке с образованием устойчивых комплексов Mg - O. |