|
Оптические и фотоэлектрические свойства тонких пленок Mg2Si на Si(III) [Текст] / Н. Г. Галкин, А. В. Конченко, А. М. Маслов [et al.] // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 6. – 7-13.
Предложена методика твердофазного роста сплошных пленок силицида магния с предварительным формированием затравочного слоя. |