| |
Измерение электрической проводимости поверхностных фаз на кремнии четырехзондовым методом IN SITU [Текст] / И. А. Белоус, О. А. Утас, Д. А. Цуканов, В. Г. Лифшиц
// Приборы и техника эксперимента. – 2001. – № 5. – 134-136.
Разработанный блок предназначен для измерения проводимости сверхтонких пленок |
