| |
Васильева, Н. Д.
Свойства пленок аморфного гидрогенезированного углерода, полученных ионно-плазменным распылением [Текст] / Н. Д. Васильева, В. А. Воронцов, А. И. Попов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 4. – 5-11.
Используемый метод позволяет получать пленки аморфного углерода с различным соотношением аллотропических модификаций, характеризующихся широким диапазоном изменения электрических и оптических свойств. |
