Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук Відібрані Формуляр Опис документа
Сайт бібліотеки Сайт ВНТУ
          Путря, М. Г.
    Особенности плазменного профилирования кремния для микромеханики [Текст] / М. Г. Путря
    // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 3. – 93-94.

   Краткие сообщения.

  УДК 621.3.049.77.002:537.5


            



Теми документа
Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'