| |
Бобринецкий, И. И.
Особенности проводимости планарных металлических наносужений [Текст] / И. И. Бобринецкий, Н. В. Корнеев, В. К. Неволин
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 3. – 17-21.
Исследована проводимость планарных наноструктур, изготовленных по двухстадийному маршруту с использованием стандартной субмикронной технологии и локального анодного окисления. |
