| |
Путря, М. Г.
Методология разработки процессов формирования трехмерных структур СБИС плазменными методами [Текст] / М. Г. Путря
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 1. – 5-13.
Предложена методика разработки новых процессов плазменного травления трехмерных микроструктур. |
