|
Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния [Текст] / В. Г. Вербицкий, В. И. Золотаревский, Ю. Е. Николаенко [et al.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2001. – № 3. – 56-61.
Показаны возможность и особенности применения объемного кремния при проектировании и освоении в производстве КМОП ИС ключей, коммутаторов |