| |
Вернер, В. Д.
Метод самоформирования в технологии микросистем [Текст] / В. Д. Вернер, А. Н. Сауров
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 4-5. – 118-123.
Рассмотрены основные тенденции развития микросистемной техники, ее связь с технологией микроэлектроники. |
