| |
Королев, М. А.
Особености формирования элементов пленочных структур в интегральных КНИ-микросистемах [Текст] / М. А. Королев, М. Г. Путря, В. И. Шевяков
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 4-5. – 86-90.
Предложен ряд конструктивно-технологических решений, улучшающих параметры пленочных структур. |
