Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Ташатов, А. К.
Применение низкоэнергетической ионной имплантации для создания контактов к ультратонким пленкам
[Текст] / А. К. Ташатов
// Український фізичний журнал. – 2001. – № 3. – 383-385.
УДК 583.537
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/І/імплантація, имплантация/імплантація іонна, имплантация ионная
Ключові слова/У/ультратонкие пленки
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'