|
Макарець, М. В. Новий метод розрахунку розподілу імплантованих іонів. 1. Алгоритм та семиінваріанти [Текст] / М. В. Макарець, С. М. Сторчака // Український фізичний журнал. – 2001. – № 4. – 486-494.
Запропоновано метод розв'язання рівняння Лінхарда - Шарфа - Шіотта для функції щільності розподілу повних пробігів імплантованих іонів |