| |
Левченко, И. С.
Моделирование процесса формирования тонких силицидных пленок на кремнии при высокотемпературном обжиге [Текст] / И. С. Левченко, А. А. Сукенник, Г. А. Чечко
// Проблемы управления и информатики. – 2000. – № 6. – 51-59.
Экспериментальные исследования показали, что при одной и той же температуре отжига возможно формирование одной, двух или трех фаз силицидов одновременно |
