| |
Иващук, А. В.
Тепловые режимы формирования омических контактов к арсениду галлия [Текст] / А. В. Иващук
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2000. – № 5-6. – 43-45.
Описано устройство для термообработки полупроводниковых пластин, обеспечивающее быстрый нагрев и охлаждения образцов и создающее необходимые условия для равномерной рекристаллизации и улучшения морфологии омических контактов в процессе вплавливания металлизации |
