| |
Семеренко, М. М.
Котроль якості операцій фотолітографії при виготовленні польових транзисторів [Текст] / М. М. Семеренко, О. М. Ковальчук
// Вимірювальна та обчислювальна техніка в технологічних процесах. – 2000. – № 1. – С. 58-61.
Запропонована методика дозволяє здійснювати неруйнуючу діагностику повної геометричної довжини каналу при вимірюванні початкового струму стоку при умові, що ширина каналу набагато більша його довжини. |
