| |
Павлов, С. М.
Стимуляція плазмохімічного травлення кремнію іонами із зарядами різних знаків [Текст] / С. М. Павлов
// Український фізичний журнал. – 2000. – № 10. – С. 1175-1180.
Досліджується відносний вплив іонів із зарядами різних знаків на стимуляцію травлення кремнію у плазмових умовах. |
