| |
Атомный механизм процесса химико-механического полирования пластин кремния [Текст] / А. С. Макаров, С. А. Неустроев, Ю. М. Литвинов, М. Ю. Литвинов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 3. – 34-38.
На основе расчета нормальных напряжений в области контакта наночастицы с поверхностью кремния определено относительное пересыщение междоузельными атомами кремния в области контакта. |
