|
Эпитаксиальный пленочный рентгеновский интерферометр - инструмент для изучения структуры полупроводниковой гетеросистемы [Текст] / А. А. Федоров, А. В. Колесников, А. П. Василенко [et al.] // Приборы и техника эксперимента. – 2000. – № 2. – 135-139.
Эпитаксиальный пленочный рентгеновский интерферометр позволяет с чувствительностью до десятых долей ангстрема измерять прогиб атомных плоскостей пленки, переллельных границе раздела |