| |
Абызов, А. М.
Оптические свойства пленок карбида кремния, полученных оптическим осаждением из газовой фазы метилсилана [Текст] / А. М. Абызов, Ю. Карами
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 2. – 7-11.
Методом химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении получены пленки аморфного негидрированного карбида кремния. |
