Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Семеренко, М. М.
Моделювання процесу іонної імплантації
[Текст] / М. М. Семеренко, Н. Л. Білоконь
// Вісник ВПІ. – 1999. – № 5. – С. 105-107.
УДК 537.534:621.38
Додати до списку
Теми документа
Автори ВНТУ/Семеренко Михайло Михайлович/Семеренко М. М.
Автори ВНТУ/Білоконь Наталія Леонідівна/Білоконь Н. Л.
Ключові слова/І/імплантація, имплантация/імплантація іонна, имплантация ионная
Ключові слова/В/виготовлення, изготовление
Ключові слова/Т/транзистор
Ключові слова/А/автор ВНТУ, author of VNTU
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'