| |
Андрійчук, М.
Математичні моделі керуючих пристроїв МЕМС [Текст] / М. Андрійчук, Б. Каркульовський
// Computer Design Systems. Theory and Practice. – 2024. – Vol. 6, № 1. – С.199-208.
В даній статті розглянуто МЕМС актюатори різних типів (електростатичні, магнітні, п’єзоелектричні, термоактюатори). Розглянуто особливості їх конструкцій. |
