Проаналізовано особливості, переваги та недоліки складових мікроелектромеханічних систем. Розроблено моделі для схемотехнічного рівня автоматизованого проектування базових елементів МЕМС, які ґрунтуються на використанні мови VHDL-AMS, та побудовано метод автоматизованого синтезу моделей гетерогенних систем. Наведено результати дослідження базових елементів мікроелектромеханічних систем з використанням розроблених VHDL-AMS-моделей, що дає змогу підвищити рівень автоматизації проектувальних робіт у процесі автоматизованого проектування