| |
Чутливий елемент акселерометра на основі наноструктур кремнію (англ. мовою) [Текст] / А. Дружинін, І. Когут, Ю. Ховерко, В. Голота
// Computational Problems of Electrical Engineering : науково-технічний журнал / ed. Y. Bobalo. – Львів : Львівська політехніка, 2013. – № 1, ч. 3. – с. 11-15.
Розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної технології створення структур кремній-на-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. |
