|
Analysis of development state of the thermal flow sensors of general, biomedical and ecological designation [Текст] / S. V. Pavlov, W. Waldemar, R. L. Holyaka [et al.] // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2022. – № 1 (43). – P. 82-93. – DOI: https://doi.org/10.31649/1681-7893-2022-43-1-82-93.
Проаналізовано характеристики мікроелектронних сенсорів потоку, що дозволило зробити низку важливих висновків, а саме: сучасні мікроелектронні теплові сенсори потоку, і зокрема сенсори біомедичного призначення, характеризуються значним різноманіттям принципів формування сигналу - від елементарних лінійних перетворювачів на основі одного чутливого елементу і до нелінійних (генераційних, часозалежних) перетворювачів на основі матриць функціонально інтегрованих елементів. |