|
Експериментальне вимірювання товщиниплівкинастатичном плівкоутворювачі та плівковому відцентровомурозпорошувачі [Текст] / П. Є. Трофименко, М. В. Найда, Хоменко [та ін.] // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2022. – Т. 20, № 3. – С. 657-666.
У статті розглянуто методи та пристрої для експериментального визначення товщини плівки на статичному плівкоутворювачі, а також локальних товщин плівки, що витікає з плівкового відцентрового розпорошувача, а саме, принципові схеми експериментальних установок (стендів) для визначення товщини плівки. |