| |
О, М. B.
Deposition of Thin Y2O3: Eu Films by Radio-Frequency Sputtering [Текст] / . М. Bordun. О, . О. Bordun. І, М. K. І
// Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2022. – Т. 20, № 3. – С. 639-646.
Досліджено залежність швидкости нанесення тонких плівок Y2O3
:Eu за ВЧ-розпорошення від тиску та складу робочого газу. |
