| |
Метод і пристрій для експерементального визначеня параметрів плівкоутворення на статичних плівкоутворювачах [Текст] / П. Є. Трофименко, М. В. Найда, О. В. Хоменко, А. М. Ліцман
// Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2022. – Т. 20, № 1. – С. 81-90.
Розглянуто методи та пристрої для експериментального визначення параметрів плівкоутворення на статичних плівкоутворювачах, а саме, принципові схеми експерементальних установок (стендів) для перевіркий уточнення деяких параметрівформування тонких плівок. |
