|
Дослідження процесу формування мікрорельєфних структур у плівках хрому на основі методу хімічного травлення [Текст] / А. В. Панкратова, А. А. Крючин, Ю. О. Бородін [та ін.] // Реєстрація, зберігання і обробка даних. – 2021. – Т. 23, № 1. – С. 5-14.
Розглянуто сучасні підходи, які використовуються при формуванні мікрорельєфних структур на поверхні високостабільних підкладок. |